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技术天地

半导体行业含氟废水超标,如何快速处理达标不反弹?

点击数:12026-01-30 10:31:23

在精密至纳米级的半导体制造中,蚀刻与清洗是核心工序,而这正是含氟废水的主要源头。这类废水氟化物浓度极高,普遍在2%-6%之间(即20,000至60,000 mg/L),且成分极其复杂,常含有硼、氨氮、有机溶剂等干扰物质。其治理面临两大终极挑战:一是要求将氟离子深度净化至远低于1mg/L的严苛标准(如冲洗水要求≤0.1mg/L);二是废水中的络合态氟及杂质易导致传统方法失效,造成出水浓度频繁反弹,危及生产与环保安全。

面对此难题,常规的石灰沉淀法等传统工艺往往力不从心,它们产生的氟化钙沉淀疏松,易返溶,通常只能将氟处理至1mg/L以上,无法满足芯片制造的高纯水要求,且产生的巨量污泥处置成本高昂。因此,行业亟需一种能实现“深度、快速、稳定”去除的新方案。

环瑞除氟剂正是为此而生。其创新性地采用“强吸附+离子交换”的双重作用机理。首先,药剂中的高效组分能强力破解氟与硼、硅等形成的顽固络合键,将氟离子释放出来;随后通过精准的离子交换与沉淀作用,将游离氟转化为极其稳定、不返溶的惰性晶体,从而实现深度去除。

该技术的优势在工程实践中得到了充分验证。通过定制化的抗干扰配方与智慧加药系统,环瑞除氟剂能够从容应对半导体废水的复杂性。以一个典型应用为例,在处理氟浓度为150mg/L、含硼及有机溶剂的晶圆厂废水时,系统出水氟浓度可长期稳定在0.5mg/L以下,同时带来三大关键效益:RO膜系统结垢风险大幅降低,膜寿命显著延长;污泥产生量减少超过50%,直接降低危废处置成本;实现全流程自动化控制,运行稳定可靠

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总而言之,对于追求“零缺陷”与绿色制造的半导体行业而言,选择环瑞除氟剂,不仅是选择了一种高效的废水处理药剂,更是选择了一套确保稳定达标、保障生产安全、实现降本增效的可靠解决方案,让企业在应对环保挑战时更有底气。

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