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半导体含氟废水是如何产生的?使用除氟剂如何处理

点击数:142025-09-03 13:40:11

半导体含氟废水主要产生于制造过程中的蚀刻、清洗、研磨及沉积工序。在蚀刻环节(如晶圆加工),氢氟酸(HF)、氟化铵(NH₄F)等含氟化学品用于选择性去除材料表层,反应后形成高氟废水;清洗步骤则因使用含氟清洗剂去除残留物而产生含氟废水。

此外,设备冲洗、废气废液收集等环节也会贡献氟污染源。此类废水具有氟浓度高(500–2000mg/L)、强酸性、含重金属氟络合物(如铜、镍)及成分复杂多变的特点。


处理难点

1. 传统方法效率低:石灰沉淀法生成的氟化钙(CaF₂)沉淀疏松易返溶,出水氟浓度常反弹至10mg/L以上,难以稳定达标;铝盐混凝法在高硬度、高氟水中易失效,且残留铝离子可能抑制生化系统;反渗透膜虽能除氟,但高氟废水导致膜结垢,更换成本高昂(吨水处理费超10元)。

2. 重金属氟络合物干扰:铜、镍等重金属与氟形成的稳定络合物,阻碍氟离子游离,降低沉淀效率。

3. 污泥处置成本高:传统钙盐法产生大量含水率高的污泥,后续处置费用显著。

环瑞除氟剂的处理优势

环瑞除氟剂(如GMS-F4、GMS-F6)通过阶梯式工艺设计和精准离子交换机制解决上述痛点:


1. 深度除氟,稳定达标:

一级处理可将氟浓度从500–2000mg/L降至20mg/L左右,二级处理进一步将氟浓度稳定控制在0.5mg/L以下(远低于1mg/L的严苛标准)。

2. 高效快速,操作简便:

反应时间≤10分钟,无需改造现有产线,配合智能加药系统实现自动化控制。

3. 经济性与环保性:

污泥量减少55%,含水率低,显著降低处置成本。半导体含氟废水的治理需突破传统方法的局限。环瑞除氟剂通过深度除氟能力、抗干扰特性、快速反应及污泥减量等优势,不仅实现氟浓度稳定≤0.5mg/L的严苛要求,更将废水治理转化为生产竞争力,助力半导体行业绿色制造升级。

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